电子工业厂房综合自动化工程技术标准
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4.6 压缩空气、真空及大宗气体系统监控设计

4.6.1 压缩空气、真空及大宗气体系统监控应对压缩空气、真空及大宗气体系统的运行状态进行监视、控制、测量和记录。

4.6.2 压缩空气、真空及大宗气体系统的控制系统可与其他厂务管理控制系统合用。

4.6.3 压缩空气、真空及大宗气体系统监控应对压缩空气、真空及大宗气体系统的运行状态、故障、启停、手自动转换等进行监控。

4.6.4 压缩空气、真空及大宗气体系统监控应监测空气压缩机的运行状态。

4.6.5 压缩空气、真空及大宗气体系统监控应监测压缩空气系统主管线上的压力、质量流量和设备用电量参数。

4.6.6 压缩空气、真空及大宗气体系统监控宜监测压缩空气系统主管线上的空气露点温度。

4.6.7 压缩空气、真空及大宗气体系统监控应监控真空系统真空泵的运行状态。

4.6.8 压缩空气、真空及大宗气体系统监控宜监控真空系统主管线的真空度参数。

4.6.9 压缩空气、真空及大宗气体系统监控应显示并记录在线气体阀门开关状态和气体传感器、气体纯化分析仪的数据。

4.6.10 气体监测系统报警信号应传递给厂务管理控制系统,报警信号应包括低系统压力、高系统压力和低储罐液位。